কার্যকরী তত্ত্ব：

প্রথমে চুল্লিকে ভ্যাকুয়ামে প্রি-পাম্প করে এবং তারপর নির্ধারিত তাপমাত্রায় গরম করে নাইট্রাইডিং প্রক্রিয়ার জন্য অ্যামোনিয়া প্রবেশ করানো হয়। এরপর পুনরায় পাম্প ও প্রবেশ করিয়ে বেশ কয়েকটি চক্রের পর কাঙ্ক্ষিত নাইট্রাইড গভীরতায় পৌঁছানো হয়।

সুবিধাসমূহ:

প্রচলিত গ্যাস নাইট্রাইডিং-এর সাথে তুলনা করলে দেখা যায়, ভ্যাকুয়াম হিটিং-এ ধাতব পৃষ্ঠের সক্রিয়তার কারণে ভ্যাকুয়াম নাইট্রাইডিং-এর শোষণ ক্ষমতা বেশি, যার ফলে প্রক্রিয়াকরণের সময় কম লাগে এবং কাঠিন্য বেশি হয়।সুনির্দিষ্টনিয়ন্ত্রণ, কম গ্যাস খরচ, আরও ঘন সাদা যৌগ স্তর।